-يتم استخدام النيتروجين عالي النقاء كغاز وقائي وحامل في صناعة الدوائر المتكاملة وأشباه الموصلات والأجهزة الإلكترونية الفراغية؛ وهو بمثابة غاز حامل في ترسيب البخار الكيميائي. يحمل الغاز في مصادر انتشار السائل. ويعمل كغاز وقائي للأجهزة الموجودة في -أفران الانتشار ذات درجات الحرارة المرتفعة.
-يتم استخدام النيتروجين عالي النقاء كغاز للإزاحة والتجفيف والتخزين والنقل في عمليات مثل التنضيد والطباعة الحجرية الضوئية والتنظيف والتبخر. مطلوب نقاء النيتروجين بنسبة 99.99٪ أو أعلى في تصنيع أنابيب أشعة الكاثود. في تكنولوجيا الطيران، يجب أولاً تطهير أنظمة التزود بالوقود بالهيدروجين السائل باستخدام نيتروجين عالي النقاء-، يليه الهيليوم عالي النقاء-.
في ديسمبر 2025، وافقت إدارة الدولة لتنظيم السوق على المادة القياسية الوطنية للنيتروجين عالي النقاء-وأصدرتها، والتي تُستخدم في العمليات الرئيسية مثل التنظيف والحفر والترسيب في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، وكذلك في عمليات مثل الطباعة الحجرية الضوئية وزرع الأيونات والأكسدة في إنتاج الدوائر المتكاملة.